Medidor integrado de espesor y densidad de área CDM

Aplicaciones

Proceso de recubrimiento: detección en línea de pequeñas características del electrodo; pequeñas características comunes del electrodo: falta de vacaciones (sin fugas del colector de corriente, pequeña diferencia de gris con el área de recubrimiento normal, falla de identificación CCD), rayaduras, contorno de espesor del área de adelgazamiento, detección de espesor AT9, etc.

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Detalle del producto

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Principios de medición

Principios de la medición de la densidad superficial

Método de absorción de rayos X/β

Principios de medición de espesor

Correlación y triangulación láser

Características técnicas de las pruebas del CDM

Escenario 1: Hay una falta de 2 mm de ancho en la superficie del electrodo y un borde es más grueso (línea azul, como se muestra a continuación). Cuando el punto de luz es de 40 mm, el impacto de la forma de los datos originales medidos (línea naranja, como se muestra a continuación) se ve significativamente menor.

Escenario 2: datos de perfil del área de adelgazamiento dinámico con un ancho de datos de 0,1 mm

Características del software

Parámetros técnicos

Nombre	Índices
Velocidad de escaneo	0-18 m/min
Frecuencia de muestreo	Densidad superficial: 200 kHz; espesor: 50 kHz
Rango de medición de densidad superficial	Densidad superficial: 10~1000 g/m²; espesor: 0~3000 μm;
Repetición de medición exactitud	Densidad superficial: Integral de 16s: ±2σ: ≤±valor verdadero * 0,2‰ o ±0,06 g/m²; ±3σ:≤±valor real * 0,25‰ o +0,08 g/m²; Integral de 4s: ±2σ: ≤±valor verdadero * 0,4‰ o ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±valor real * 0,6‰ o ±0,18 g/m²;Espesor: Zona de 10 mm: ±3σ: ≤±0,3 μm; Zona de 1 mm: ±3σ: ≤±0,5 μm; Zona de 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8 μm;
Correlación R2	Densidad superficial >99%; espesor >98%;
Punto láser	25*1400μm
Clase de protección radiológica	Norma nacional de seguridad GB 18871-2002 (exención de radiación)
Vida útil de los materiales radiactivos fuente	Rayos β: 10,7 años (vida media de Kr85); rayos X: > 5 años
Tiempo de respuesta de la medición	Densidad de superficie < 1 ms; espesor < 0,1 ms;
Potencia total	<3 kW